潔凈室和高效過(guò)濾器的密封技術(shù)參數說(shuō)明
潔凈室和高效過(guò)濾器的密封是確保潔凈室潔凈度的關(guān)鍵因素之一。因此,在設計潔凈室時(shí)就應該選擇先進(jìn)的密封技術(shù)和可靠的密封方法,一般常用的密封方法有:
1、接觸填料密封:密封用填料有固體密封墊(如氯丁橡膠板、閉孔海綿橡膠板等)和液體密封膠(如:硅橡膠、氯丁橡膠、天然橡膠)。固體密封墊一般采用螺栓機械壓緊,橡膠板的壓縮量為30%~50%。液體密封膠時(shí)用填充和粘附方法密封。
2、液槽刀口密封:在槽型框架中注入一定高度的密封液體,高效過(guò)濾器的刀口插入密封液中,使兩側的空氣通路受阻達到密封目的。該方法一般用于100級、10級和更高級別潔凈度的潔凈室密封。
3、負壓泄漏密封:這種“密封”方法是利用正壓空間泄漏的空氣,人為疏導到工作區外的負壓空間,確保工作區不受污染。一般用于小規模的潔凈室密封,如負壓頂棚。